簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="矽導孔"


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    電致動力輔助化學機械平坦化製程應用於功能性晶圓平坦化之研究
    • /102/ 碩士
    • 研究生: 楊立晨 指導教授: 陳炤彰
    • 三維堆疊積體電路(3DS-IC)被認為是一項突破摩爾定律關鍵技術,由矽導孔晶圓(TSV)及玻璃導孔晶圓(TGV)作為中介層(Interposer)材料進行三維異質元件堆疊,TGV所需使用的無鹼玻璃基…
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